双面平面研磨机的工作原理：

上、下研磨盘作相反方向转动，工件在磨盘内作既公转又自转的游星运动。利用夹具将上工件，磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。

有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制。

双面研磨机的装置包括两个研磨盘，游轮，四个电机，太阳轮，修面机等。 两者相比较，双面研磨机的构造相对要复杂一些，但是如果需要双面研磨的工件用双面机进行研磨比单面机的效率无形中要快一倍。

这种双面研磨的诞生和发展为很多行业的生产效率带来了改良。用的比较多的有光学玻璃行业的硅片，蓝宝石衬底，外延片等等。